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精密复杂构件验收与交付

2022-01-12 07:57:09

由我公司承担的上海微电子装备有限公司(SMEE)的光刻机计量框架和基础框架制造任务于2017年2月13日通过预验收与交付,这标志着我公司对于精密复杂构件的制造能力提升至一个新的台阶。

光刻机被称为“智能制造业中的珠穆朗玛峰”,其中的计量框架是整个光刻机的工作基准平台,尺寸庞大(2.2m´1.9m),结构复杂,仅定位销孔一百二十多个;螺纹孔四百多个;基础框架是整个光刻机的基本支持体,尺寸达2.75m´1.86m´1.37m,其螺纹孔有三百多个。计量框架与基础框架中对任何加工部位的位置、形状、尺寸、表面形貌等要求相当高,机械转台正常的制造周期为6个月。由于SMEE的任务要求紧张,我公司仅用了三个月的时间完成了制造任务。2017年2月初,SMEE的质量控制人员、设计人员、工艺人员在我公司进行了验收测试,历经5天的时间完成了整个测试。产品经过清洁、包装等工作,于2017年2月15日由专车运往上海。

机械转台

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