超精密气浮转台
哈超精密精密气浮转台可用于超高端三坐标测量机第四轴转台,大幅度提升复杂曲面的测量效率,转台除更高的重复定位精度(±0.2 arcsec水平)和IS0-10360-3精度指标外(2μm级别),还可以实现平稳精准的联动扫描测量。
关键词:
测量
转台
三坐标
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超精密气浮转台
产品参数
性能指标 | 参数 | 单位 |
工作台面 | ∅200 ∅300 ∅400(可定制) | mm |
轴向承载 | 180 | kg |
径向承载 | 80 | kg |
最大速度 | 500 | rpm |
轴向误差 | <0.1 | μm |
径向误差 | <0.1 | μm |
偏摆误差 | 0.5 | " |
重复精度 | 0.2 | " |
定位精度 | 0.2 | " |
供气压力 | 5 | bar |
空气流量 | 70 | sL/min |
总重量 | 40 | kg |
外壳材质 | 铝合金 | |
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